常用的接触式测量半导体材料电阻率的方法主要有这几种：

两探针法；三探针法；四探针法；单探针扩展电阻法；范德堡法。

两探针法。这种方法适用于长条形或棒状试样，通过测量电压和电流来计算电阻率。其原理简单，操作方便，但受限于样品形状和尺寸。

三探针法，它适用于测量相同导电类型、低阻衬底的外延层材料。利用金属探针与半导体接触处的反向电流和电压特性，可以准确测定材料电阻率。这种方法在研究外延层特性时尤为重要。

四探针法是另一种常用的测量方法，特别适用于样品沿径向分布的断面电阻率。通过在样品表面放置四根探针，测量电压来计算电阻率。这种方法在半导体材料表征和器件制造中有着广泛的应用。

单探针扩展电阻法是一种适用于测量体材料的微区均匀性及外延材料、多层结构或扩展层等材料的电阻率或电阻率分布的方法。它通过单个探针与样品接触，通过改变探针位置来获得不同位置的电阻率信息。

范德堡法，适用于厚度均匀、无孤立孔洞的片状样品。通过在样品边缘取四个接触点来测量电阻率。这种方法在测量薄片材料的电阻率时非常有效。

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