四探针测试仪是一种精确的电阻率测量仪器，广泛应用于半导体、电子和材料科学领域。本文介绍四探针测试仪的使用方法、误差来源及其在实际应用中的重要性。

四探针测试仪的正确使用步骤

确定四探针测试仪的线缆连接正确，仪器状态正常，并进行预热。

使用螺旋测微器测量圆形单晶硅片的厚度，使有效数字位数正确。

使用游标卡尺确定测量点，在距圆心本直径处测量硅片的电阻率。

在距边缘5mm或6mm处测量碎片电阻率。

对比不同位置所测得的电阻率值。

四探针测试仪的误差分析

系统误差可能包括视差、刻度误差、磨损误差、接触力误差、挠曲误差、余弦误差、阿贝误差、热变形误差等。

随机误差则是指在重复测量过程中出现的不可预测的误差。

四探针测试仪的优势

四探针法测量电阻率具有许多优点，如无需校准，有时甚至用于其他方法测量电阻率的校准。与二探针法相比，四探针法处理数据更为简单，且能同时测量电流值和电压值，测量结果更为准确。

公司产品与服务

我司提供多种型号的四探针测试仪，如SZT-2c四探针测试仪不仅在国内各高校、材料研究实验室，更是远销海外。在海内外科研、生产等领域发挥着关键且重要的作用。

如果您有关于四探针测试仪或其它电子仪器的任何需求，欢迎联系我们。